나노임프린트와 플라즈마 화학기상증착법을 이용한 패턴화된 대면적 카본나노튜브 템플레이트 제작기술

  • 장원석 (한국기계연구원 나노기계연구본부) ;
  • 최대근 (한국기계연구원 나노기계연구본부) ;
  • 허갑수 (한국기계연구원 나노기계연구본부) ;
  • 정준호 (한국기계연구원 나노기계연구본부)
  • Published : 2008.02.14