Ultrathin-Body (UTB) Strained-Si-on-Insulator (sSOI)에서 채널두께에 MOSFET 따른 전자이동도 변화

  • 김관수 (광운대학교 전자재료공학과) ;
  • 최철종 (한국전자통신연구원) ;
  • 정종완 (세종대학교 나노신소재공학부) ;
  • 조원주 (광운대학교 전자재료공학과)
  • 발행 : 2008.02.14