한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2008년도 하계학술대회 논문집 Vol.9
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- Pages.366-366
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- 2008
비대칭 마그네트론 스퍼터링으로 합성된 비정질 탄소박막의 물리적, 구조적 특성에서 타겟 파워 밀도의 영향
The effect of target power density on physical and structural properties of amorphous carbon films prepared by CFUBM sputtering
- Lee, Jae-Hee (Sungkyunkwan Univ.) ;
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Park, Yong-Seob
(Sungkyunkwan Univ.) ;
- Park, Jae-Wook (Sungkyunkwan Univ.) ;
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Hong, Byung-You
(Sungkyunkwan Univ.)
- 발행 : 2008.06.19
초록
Amorphous carbon (a-C) is an interesting materials and its characteristics can be varied by tuning it