한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2008년도 하계학술대회 논문집 Vol.9
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- Pages.356-357
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- 2008
$O_2$ plasma 표면 처리 공정에 의한 SOI nano-wire Bio-FET 소자의 전기적 특성 열화
Degradation of electrical characteristics in SOI nano-wire Bio-FET devices
- Oh, Se-Man (Kwangwoon Univ.) ;
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Cho, Won-Ju
(Kwangwoon Univ.)
- 발행 : 2008.06.19
초록
The effects of