한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2008년도 하계학술대회 논문집 Vol.9
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- Pages.102-103
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- 2008
다양한 방법으로 성장된 ZnO layer의 Deep level emission에 대한 비교 분석
A comparative analysis of deep level emission in the ZnO layers deposited by various methods
- 안철현 (성균관대학교 신소재 공학부) ;
- 김영이 (성균관대학교 신소재 공학부) ;
- 김동찬 (성균관대학교 신소재 공학부) ;
- 공보현 (성균관대학교 신소재 공학부) ;
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한원석
(성균관대학교 신소재 공학부) ;
- 최미경 (성균관대학교 신소재 공학부) ;
-
조형균
(성균관대학교 신소재 공학부) ;
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이종훈
(한국해양대학교 나노데이터시스템 학부) ;
-
김홍승
(한국해양대학교 나노데이터시스템 학부)
- Ahn, C.H. (School of Advanced Materials Science and Engineering, Sungkyunkwan University) ;
- Kim, Y.Y. (School of Advanced Materials Science and Engineering, Sungkyunkwan University) ;
- Kim, D.C. (School of Advanced Materials Science and Engineering, Sungkyunkwan University) ;
- Kong, B.H. (School of Advanced Materials Science and Engineering, Sungkyunkwan University) ;
-
Han, W.S.
(School of Advanced Materials Science and Engineering, Sungkyunkwan University) ;
- Choi, M.K. (School of Advanced Materials Science and Engineering, Sungkyunkwan University) ;
-
Cho, H.K.
(School of Advanced Materials Science and Engineering, Sungkyunkwan University) ;
-
Lee, J.H.
(Major of Semiconductor Physics, Korea Maritime University) ;
-
Kim, H.S.
(Major of Semiconductor Physics, Korea Maritime University)
- 발행 : 2008.06.19
초록
Magnetron Sputtering, MOCVD, Thermal Evaporation에 의해 성장된 ZnO layer에 대한 Dependency Temperature Photoluminescence (PL)를 이용하여 비교 분석을 통해 Deep level emission에 대해 연구하였다. Sputter에 의해 성장된 ZnO 박막은 Violet, Green, Orange-red 영역의