Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (한국전기전자재료학회)
권호 표지

Fabricatoin and electrochemical property of 3-dimesional $LiMn_2O_4$ thin film

3차원 구조의 $LiMn_2O_4$ 박막전극의 제조 및 전기화학적 특성

  • 박보건 (경기대학교, 신소재공학과) ;
  • 유제혁 (경기대학교, 신소재공학과) ;
  • 박용준 (경기대학교, 신소재공학과)
  • Published : 2008.06.19
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

3D microbattery에 사용할 수 있는 $LiMn_2O_4$ 3차원 박막전극을 제조하여 그 전기화학적 특성을 관찰하였다. 3차원 구조의 형성을 위하여 먼저 polystyrene(PS) microsphere를 platinum이 증착된 Si/$SiO_2$ 기판위에 dip-coating 방식으로 코팅시켜 template로 사용하였다. 그 위에 sol-gel법을 이용, 박막을 형성시킨 후 template 를 제거하는 방식으로 $LiMn_2O_4$ 3차원 박막전극을 형성하였는데 이때 solution은 Lithium acetylacetonate[$LiCH_3CO-CHCOCH_3$], Manganese(III) acetylacetonate [Mn$(CH_3COCHCOCH_3)_3$]를 source 물질로 1-butanol과 acetic acid를 solvent로 활용하여 제조하였다.

Keywords