Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2008.06a
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- Pages.23-24
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- 2008
ZnO thin film on PMMA substrate by Pulse Laser Deposition
펄스레이저증착에 의한 PMMA기판상의 ZnO박막형성
- Choi, Young-Jin (Inha Univ.) ;
- Lee, Cheon (Inha Univ.)
- Published : 2008.06.19
Abstract
본 논문에서는 폴리머(Polymer)기판에서의 레이저의 조사밀도와 기판의 온도 변화에 따라서 성장하는 ZnO박막의 구조적 특성을 알아보기위해 펄스 레이저 증착 법으로 PMMA(Polymethly Methacrylate)기판상에 ZnO박막을 형성하였다. 레이저의 조사 밀도는 2 J/