한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)

한국전기전자재료학회 (The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers)
권호 표지

Diamond-like Carbon의 stainless steel 합성시 전처리 효과

Effect of pre-treatment for synthesis of diamond-like carbon on stainless steel

  • 백일호 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 윤덕용 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 박용섭 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 최은창 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 홍병유 (성균관대학교 정보통신공학부)
  • Back, Il-Ho (School of Information and Communication Engineering, SungKyunKwan University) ;
  • Yun, Deok-Yong (School of Information and Communication Engineering, SungKyunKwan University) ;
  • Park, Yong-Seob (School of Information and Communication Engineering, SungKyunKwan University) ;
  • Choi, Eun-Chang (School of Information and Communication Engineering, SungKyunKwan University) ;
  • Hong, Byung-You (School of Information and Communication Engineering, SungKyunKwan University)
  • 발행 : 2008.11.06
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초록

Diamond-like carbon (DLC) 박막은 높은 경도, 내 마모성, 화학적 안정성, 전기적 절연성, 높은 광 투과성을 가지고 있어, 공구강, 광학렌즈 및 플라스틱의 보호 코팅을 위해 응용되어진다. 하지만, DLC 박막은 높은 잔류응력으로 adhesion이 떨어진다는 단점이 있다. 따라서 본 연구에서는 전처리가 13.56MHz 150W RF플라즈마 화학기상 증착(RF-PECVD) 법을 통한 DLC 박막의 합성에 어떤 영향을 미치는지 알아보기 위해, $H_2$ (80 sccm), $O_2$ (10 sccm), $N_2$ (20 sccm)의 다른 가스를 사용하여 전처리를 하였다. DLC 박막 합성 후, 특성은 Raman, scratch test, contact angle 등의 측정을 통하여 분석되었다.

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