한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2008년도 추계학술대회 논문집 Vol.21
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- Pages.31-31
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- 2008
에어로졸데포지션법을 이용한 $BaTiO_3$ 박막의 상온 코팅
Room-Temperature Fabrication of Barium Titanate Thin Films by Aerosol Deposition Method
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Oh, Jong-Min
(Kwangwoon Univ.) ;
- Nam, Song-Min (Kwangwoon Univ.)
- 발행 : 2008.11.06
초록
고주파 잡음 발생과 고집적화 문제 해결을 위해 고용량 디커플링 캐패시터를 기판에 내장하는 연구가 활발히 진행되고 있다. 본 연구에서는 초고주파 환경에서 고용량 기판 내장형 디커플링 캐패시터로의 응용을 위해
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