Color Filter Based on a Sub-wavelength Patterned Poly-Silicon Grating Fabricated by Using Laser Interference Lithography

광파장 이하의 주기를 갖는 다결정 실리콘 격자 기반의 컬러필터

  • 윤여택 (광운대학교 전자공학과) ;
  • 이홍식 (광운대학교 전자공학과) ;
  • 이상신 (광운대학교 전자공학과) ;
  • 김상훈 (엘지전자기술원 소자재료연구소) ;
  • 박주도 (엘지전자기술원 소자재료연구소) ;
  • 이기동 (엘지전자기술원 소자재료연구소)
  • Published : 2008.02.01