Fabrication of Optofluidic Devices Using Holographic Lithography

홀로그래피 식각법을 이용한 광자유체소자의 제조

  • 이승곤 (카이스트 광자유체집적소자연구단) ;
  • 박성규 (카이스트 광자유체집적소자연구단) ;
  • 문준혁 (삼성종합기술원) ;
  • 양승만 (카이스트 광자유체집적소자연구단)
  • Published : 2008.02.01