Lithography by using surface plasmon

표면 플라즈몬 현상을 이용한 리소그래피

  • 이준섭 (한양대학교 물리학과 BK21 고급인력 양성 사업단) ;
  • 이지환 (한양대학교 물리학과 BK21 고급인력 양성 사업단) ;
  • 송석호 (한양대학교 물리학과 BK21 고급인력 양성 사업단)
  • Published : 2008.07.01