테라헤르츠 엘립소메트리를 이용한 도핑된 실리콘의 전기적 광학적 물성 분석

Analysis of Electrical and Optical Characteristics of Doped Silicon using THz Ellipsometry

  • 한연호 (포항공과대학교 전자컴퓨터공학부) ;
  • 임미현 (포항공과대학교 전자컴퓨터공학부) ;
  • 김정희 (포항공과대학교 전자컴퓨터공학부) ;
  • 정은아 (포항공과대학교 전자컴퓨터공학부) ;
  • 문기원 (포항공과대학교 전자컴퓨터공학부) ;
  • 한해욱 (포항공과대학교 전자컴퓨터공학부)
  • 발행 : 2008.07.01