Comparison of Optical, Structural and Photocatalytic Properties of $TiO_2$/$SiO_2$ Thin Films Prepared by E-beam Evaporation and RF-Magnetron Sputtering

E-beam Evaporation법과 RF-Magnetron Sputtering법을 이용한 $TiO_2$/$SiO_2$ 박막의 광학적, 구조적, 광활성 특성 비교

  • Published : 2008.07.01