Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Characteristics of IGZO thin films deposited with different $O_2$ ambient gas ratios

$O_2$ 가스 변화에 따른 IGZO 박막의 특성

  • 김성연 (연세대학교 신소재공학부) ;
  • 서현식 (연세대학교 신소재공학부) ;
  • 명재민 (연세대학교 신소재공학부)
  • Published : 2008.11.07
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