Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2008.11a
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  • Pages.451-452
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  • 2008
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Pressure Rise Characteristics Caused by Movement of Air Bearings in Vacuum

진공환경용 공기베어링의 구동에 따른 압력증가 특성

  • 김경호 (한국기계연구원 지능형생산시스템연구본부) ;
  • 송창규 (한국기계연구원 지능형생산시스템연구본부) ;
  • 박천홍 (한국기계연구원 지능형생산시스템연구본부)
  • Published : 2008.11.12
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Abstract

Keywords