한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

프로브 기반 나노 정보 저장 장치에 쓰이는 열-압전 캔틸레버와 CMOS 웨이퍼와의 집적화 단계에서 발생하는 PZT 열화에 대한 연구

  • 이선영 (한양대학교 재료 화학공학부)
  • 발행 : 2008.05.22
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