프로브 기반 나노 정보 저장 장치에 쓰이는 열-압전 캔틸레버와 CMOS 웨이퍼와의 집적화 단계에서 발생하는 PZT 열화에 대한 연구

Abstract

Keywords

• polyimide;
• PZT degradation

• 열-압전 캔틸레버;