Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical Engineers (대한전기학회)
권호 표지

Optical properties of undoped ZnO films grown by PLD

PLD 법으로 성장한 undoped ZnO 박막의 성장온도에 따른 광학적 특성

  • Kim, Ki-Hwi (Center for Energy Materials Research, Korea Institute of Science and Technology) ;
  • Leem, Jae-Hyeon (Center for Energy Materials Research, Korea Institute of Science and Technology) ;
  • Song, Yong-Won (Center for Energy Materials Research, Korea Institute of Science and Technology) ;
  • Lee, Sang-Yeol (Center for Energy Materials Research, Korea Institute of Science and Technology)
  • 김기휘 (한국과학기술연구원 에너지재료연구단) ;
  • 임재현 (한국과학기술연구원 에너지재료연구단) ;
  • 송용원 (한국과학기술연구원 에너지재료연구단) ;
  • 이상렬 (한국과학기술연구원 에너지재료연구단)
  • Published : 2008.07.16
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Abstract

PLD 방법으로 undoped ZnO박막을 성장 온도별로 성장하여 박막의 광학적 특성이 변화되는 것을 관찰하였다. undoped ZnO박막은 $Al_2O_3(0001)$기판을 이용하였고, pulsed laser deposition(PLD)을 이용하여 증착을 하였다. 이때 파장이 355nm인 Nd:YAG 레이저를 이용하였고 레이저의 에너지 밀도는 1.4 $J/cm^2$ 이었다. 구조적 광학적 특성을 관측하기 위하여 XRD, SEM, PL 등을 측정하였다. PL 측정 결과 성장 온도가 증가함에 따라 undoped ZnO박막의 광학적 특성이 좋아지는 것을 관찰할 수 있었다. XRD 측정 결과도 온도별 FWHM과 intensity ratio가 점차 좋아지는 것을 볼 수 있었다.

Keywords