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한국전자현미경학회:학술대회논문집
2007.05a
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Pages.38-42
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2007
Korean Society of Microscopy (한국현미경학회)
Electron Tomography용 시편제작 방법에 따른 반도체 소자의 3차원 영상 구현
Son, Seong-Gyu
;
Baek, Tae-Seon
;
Kim, Won
;
Kim, Ho-Jeong
;
Lee, Sun-Yeong
손성규
(㈜하이닉스반도체 연구소 분석개발팀) ;
백태선
(㈜하이닉스반도체 연구소 분석개발팀) ;
김원
(㈜하이닉스반도체 연구소 분석개발팀) ;
김호정
(㈜하이닉스반도체 연구소 분석개발팀) ;
이순영
(㈜하이닉스반도체 연구소 분석개발팀)
Published : 2007.05.31
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