한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2007년도 춘계학술발표회 초록집
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- Pages.159-160
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- 2007
유연성 소자 적용을 위한 전처리 조건에 따른 $SiO_xN_y$ 보호막 특성 평가
Properties of $SiO_xN_y$ thin films prepared on ion beam pretreated plastic substrates for flexible devices
- 발행 : 2007.04.05
초록
본 연구에서는 Si 타겟과 반응성 마그네트론 스퍼터링법을 적용하여
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