Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2007.04a
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- Pages.159-160
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- 2007
Properties of $SiO_xN_y$ thin films prepared on ion beam pretreated plastic substrates for flexible devices
유연성 소자 적용을 위한 전처리 조건에 따른 $SiO_xN_y$ 보호막 특성 평가
- Published : 2007.04.05
Abstract
본 연구에서는 Si 타겟과 반응성 마그네트론 스퍼터링법을 적용하여
Keywords