한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2007년도 춘계학술발표회 초록집
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- Pages.145-146
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- 2007
하이브리드 시스템에 의해 제조된 Cr-Si-N 박막내 바이어스와 온도에 따른 기계적 물성의 변화
Effects of temperature and bias voltage on mechanical properties of Cr-Si-N coatings deposited by a hybrid system
- 발행 : 2007.04.05
초록
Cr-Si-N 박막은 하이브리드 코팅 시스템에 의해 온도와 바이어스의 변화에 따라 증착 되었다. 증착온도
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