Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Effects of temperature and bias voltage on mechanical properties of Cr-Si-N coatings deposited by a hybrid system

하이브리드 시스템에 의해 제조된 Cr-Si-N 박막내 바이어스와 온도에 따른 기계적 물성의 변화

  • 홍승균 (부산대학교 박막재료 연구실) ;
  • 박지훈 (부산대학교 박막재료 연구실) ;
  • 윤창성 (부산대학교 박막재료 연구실) ;
  • 김광호 (부산대학교 박막재료 연구실)
  • Published : 2007.04.05
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Abstract

Cr-Si-N 박막은 하이브리드 코팅 시스템에 의해 온도와 바이어스의 변화에 따라 증착 되었다. 증착온도 $0{\sim}300^{\circ}C$ 범위에서, 경도와 탄성계수는 이온의 surface mobility의 증가 때문에 향상되었지만 $350^{\circ}C$ 이상의 증착 온도에서는 결정성장 때문에 경도는 다시 감소하였다. 바이어스 $0{\sim}-100V$까지 범위에서는, 경도와 탄성계수는 각각 46GPa, 600GPa의 최대값을 보여주었으며 바이어스 -100V에서 macro-particle과 surface molphology 감소가 발생하였다. 그러나 -100V이상의 바이어스에서 resputtering 현상에 의해 Si 의 양이 감소한다. 증착온도는 Si 함량에 많은 영향을 주지 못한다.

Keywords