SKD61과 Radical Nitriding 처리된 SKD61 기판상에 Arc Ion Plating으로 증착된 TiN 박막의 미세구조 및 기계적 특성에 관한 연구

  • 주윤곤 (창원대학교, 나노신소재공학부) ;
  • 송기오 (창원대학교, 나노신소재공학부) ;
  • 윤재홍 (창원대학교, 나노신소재공학부) ;
  • 조동율 (창원대학교, 나노신소재공학부) ;
  • 박봉규 (창원대학교, 나노신소재공학부) ;
  • 정길봉 (국방기술품질원) ;
  • 전윤조 (한국이온질화센터)
  • 발행 : 2007.04.05

초록

최근 기계가공기술의 발달에 따라 내마모용 TiN 박막의 수요가 증가하였고, TiN박막은 내마모용으로 높은 경도 및 밀착력을 필요로 한다. TiN박막을 증착시키는 방법은 PVD, CVD 등 여러 가지가 있으나 본 연구에서 공구강 SKD 61기판 표면과 Radical Nitriding(RN) 처리된 SKD 61 기판에 arc ion plating(AIP)를 이용하여 TiN 박막을 증착시켜 표면경도를 향상시키고, 이 코팅층의 미세구조가 기계적 특성에 미치는 영향을 연구하였다. 그 결과 RN처리된 SKD61에서 코팅 두께가 많이 나왔고, 스크래치테스트 결과 접착력이 향상되었음을 알 수 있었다.

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