한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2007년도 춘계학술발표회 초록집
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- Pages.89-90
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- 2007
저온 마그네트론 스퍼터링에 의해 합성된 IZO 박막의 전기적 특성
Electrical properties of IZO thin films using magnetron sputtering method at low temperature
초록
마그네트론 스퍼터링 공정을 이용하여
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