Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2007.04a
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- Pages.80-81
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- 2007
The study of the large area inductively coupled plasma source using the internal linear antennas
내장형 선형 안테나를 이용한 대면적 유도결합형 플라즈마 소스에 관한 연구
- Published : 2007.04.05
Abstract
평판 디스플레이의 대면적 플라즈마 공정을 위하여 내장형 선형 안테나를 설치하였고 실질적인 식각 균일도를 알아보기 위하여 floating antenna의 전압 분포 조건에서 glass 위에
Keywords