Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2007.04a
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- Pages.67-68
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- 2007
Dependency of oxygen partial pressure on the characteristics of ZnO films grown by magnetron sputtering
마그네트론 스퍼터링에 의해 성장된 ZnO 박막의 산소 분압 의존성
Abstract
마그네트론 스퍼터링을 이용하여 사파이어 기판위에
Keywords