한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

Characterization of p-type transparent conducting $CuAIO_2$ thin film prepared by Pusled Laser Deposition

  • 엄세영 (경북대학교 무기재료 공학과) ;
  • 이종철 (경북대학교 무기재료 공학과) ;
  • 허영우 (경북대학교 무기재료 공학과) ;
  • 이준형 (경북대학교 무기재료 공학과) ;
  • 김정주 (경북대학교 무기재료 공학과)
  • 발행 : 2007.11.12
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

p형 투명 전도막을 만들기 위해 박막화의 가능성 있는 벌크(bulk)상태의 p형 투명 전도 물질을 합성하고, 박막화 하여 p형 투명 전도 물질의 기초적 물성을 조사하여 p형 투명 전도 물질의 개발 가능성을 조사하였다. p-type $CAO_2$ 박막은 열처리를 통하여 얻을 수 있었다. $CAO_2$ 박막은 초기 증착 온도가 $650^{\circ}C$이하에서는 열처리를 통해서도 $CAO_2$상을 얻을 수가 없었고 오직 공기중 분위기에서만 c-axis 배향을 가진 $CuAIO_2$ 단일상 박막을 얻을 수 있었다. $CuAIO_2$ 단일상 박막은 2개의 상이 공존하고 있는 것으로 생각된다.

키워드