Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2007.11a
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- Pages.97-98
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- 2007
Effects of substrate temperature and Al concentration on electrical properties and microstructure of AZO films
Al 첨가량 및 기판온도가 AZO박막의 전기적 특성 및 미세구조에 미치는 영향
- Published : 2007.11.12
Abstract
DC magnetron sputtering법을 이용하여 다양한
Keywords