한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.95-96
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- 2007
DC 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 GZO 박막의 Ga 함량에 따른 전기적 및 광학적 특성
Electrical and optical properties in relation to Ga concentration of GZO films deposited by DC magnetron sputtering
- 발행 : 2007.11.12
초록
DC magnetron sputtering 법으로 다양한
키워드