한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.93-94
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- 2007
타겟의 전도도에 따른 ITO 박막의 물성에 관한 연구
Characteristics of ITO films deposited using ITO targets with different conductivities
초록
DC 마그네트론 스퍼터링법에 의하여 전도성이 다른 타겟을 사용하여 non-alkali glass 기판위에 실온에서 ITO 박막을 증착하였다. 전도성 향상 타겟을 사용하여 증착한 ITO 박막의 경우, 최저 비저항은 2.9
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