한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.83-84
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- 2007
용액 교반이 Damascene 공정의 무전해 구리 도금에 미치는 영향
The Effect of Solution Agitation on the Electroless Cu deposition of Damascene Process
- 발행 : 2007.11.12