반응성 플라즈마를 이용한 금속코발트의 표면 식각 반응 연구

• Jeon, Sang-Hwan ;
• Park, Dong-Min ;
• Jin, Dong-Sik ;
• Kim, Yong-Su ;
• Won, Hwi-Jun ;
• Mun, Je-Gwon ;
• Jeong, Jong-Heon

• 전상환 (한양대학교) ;
• 박동민 (한양대학교) ;
• 진동식 (한양대학교) ;
• 김용수 (한양대학교) ;
• 원휘준 (한국원자력연구원) ;
• 문제권 (한국원자력연구원) ;
• 정종헌 (한국원자력연구원)

• Published : 2007.11.15

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