The effect of input gas ratio on the growth behavior of CVD ZrC films with temperature

  • 김준규 (연세대학교 신소재공학과) ;
  • 최두진 (연세대학교 신소재공학과) ;
  • 이영우 (한국원자력연구원 입자연료개발부) ;
  • 박지연 (한국원자력연구원 원자력재료기술개발부)
  • Published : 2007.11.02