Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2007.11a
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- Pages.97.1-97.1
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- 2007
전구체 노출시간을 조절하는 원자층 증착기술(ALD)을 이용한 $ZrO_2$ 나노튜브 성장
- Seong, Nak-Jin ;
- Yun, Sun-Gil ;
- Sin, Ung-Cheol (NCD technology) ;
- Ryu, Sang-Uk
- Published : 2007.11.02