Ultra thin $PbTiO_3$ films prepared by gas phase reaction sputtering

  • 김지윤 (한국과학기술원 신소재공학과 전자 및 광학재료 연구실) ;
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  • 김윤석 (한국과학기술원 신소재공학과 전자 및 광학재료 연구실) ;
  • 박문규 (한국과학기술원 신소재공학과 전자 및 광학재료 연구실) ;
  • 김용관 (삼성종합기술원 Semiconductor Device Lab.) ;
  • 홍승범 (한국과학기술원 신소재공학과 전자 및 광학재료 연구실) ;
  • 노광수 (한국과학기술원 신소재공학과 전자 및 광학재료 연구실)
  • Published : 2007.11.02