RF-Manetron Sputtering에 의한 촉매금속 박막 증착 및 nanoparticle의 제어

  • 김남철 (공주대학교 신소재공학부) ;
  • 백기종 (공주대학교 신소재공학부) ;
  • 소병문 (공주대학교 신소재공학부) ;
  • 문상진 (공주대학교 신소재공학부)
  • 발행 : 2007.11.02