Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Fabrication of Si master by Nanosphere Lithography

Nanosphere Lithography(NSL)를 이용한 Si master제작

  • 박정갑 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 정근희 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 강치구 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 이창형 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 서수정 (성균관대학교 신소재공학과)
  • Published : 2007.11.02
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Abstract

Keywords