Metal Organic Chemical Vapor Deposition을 이용한 Ge 전구체의 증착특성연구

  • 김봉준 (전남대학교 신소재공학부) ;
  • 김선희 (전남대학교 신소재공학부) ;
  • 이준기 (전남대학교 신소재공학부)
  • 발행 : 2007.11.02