Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

The Chemical Structure of a-SiOC:H Films Prepared by PECVD Using the Double Bubbler Systems

  • 양재영 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
  • 이성우 (성균관대학교 물리학과 반도체 및 나노응용연구실) ;
  • 강상우 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
  • 윤주영 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
  • 성대진 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
  • 신용현 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩)
  • Published : 2007.11.02
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Abstract

Keywords