$NiCl_2$ 화합물 분위기를 이용한 비정실 실리콘 박막의 저온 결정화

  • 안경민 (한국과학기술원 신소재공학과) ;
  • 이승렬 (한국과학기술원 신소재공학과) ;
  • 안병태 (한국과학기술원 신소재공학과)
  • Published : 2007.11.02