$Al_2O_3/Si$ (100) buffer layer위에 증착된 ZnO 박막의 후속 열처리에 따른 특성 변화

  • 김초롱 (인제대학교 나노시스템공학과) ;
  • 이재엽 (인제대학교 나노시스템공학과) ;
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  • 임재영 (인제대학교 나노시스템공학과) ;
  • 류혁현 (인제대학교 나노시스템공학과)
  • Published : 2007.11.02