증착 온도 변화에 다른 ZnO:Ga 박막의 수소 열처리에 관한 특성

Effects of $H_2$ ambient annealing in ZnO:Ga thin films deposited with different temperature

  • 김성연 (연세대학교 신소재공학부 금속공학과) ;
  • 장현우 (LG화학 기술연구원) ;
  • 박정식 (LG화학 기술연구원) ;
  • 명재민 (연세대학교 신소재공학부 금속공학과)
  • 발행 : 2007.11.02