Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

기상유도결정화와 후속 Pulsed RTA를 이용한 다결정 실리콘 박막의 제조

  • 강승모 (한국과학기술원 신소재공학과) ;
  • 이승렬 (한국과학기술원 신소재공학과) ;
  • 안경민 (한국과학기술원 신소재공학과) ;
  • 안병태 (한국과학기술원 신소재공학과)
  • Published : 2007.11.02
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords