반도체 및 디스플레이 공정용 코팅부품의 성능평가 연구

• 유승민 (대전대학교 대학원 신소재공학과) ;
• 윤주영 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
• 강상우 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
• 신재수 (대전대학교 신소재공학과) ;
• 성대진 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
• 신용현 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩)

• Yu, Seung-Min ;
• Yun, Ju-Yeong ;
• Gang, Sang-U ;
• Sin, Jae-Su ;
• Seong, Dae-Jin ;
• Sin, Yong-Hyeon

• 발행 : 2007.11.02

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