Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference (한국정보통신학회:학술대회논문집)
- 2007.10a
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- Pages.743-746
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- 2007
Large Area Deposition of Amorphous Silicon Nitride Thin Film
비정질질화실리콘 박막의 대면적 증착
- Hur, Chang-Wu (Dept. of Electronic Engineering. Mokwon Univ.)
- 허창우 (목원대학교 전자공학과)
- Published : 2007.10.26
Abstract
본 연구에서는 LCD, 이미지 센서 등의 개별 소자인 비정질 실리콘 박막 트랜지스터에서 게이트 유전층 및 절연층으로 사용되는 비정질 질화 실리콘 박막을 사일렌
Keywords