Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

상압과 저압에서 열분해법으로 제조된 실리콘 입자 비교

  • 김광수 (성균관대학교 성균나노과학기술원) ;
  • 우대광 (성균관대학교 성균나노과학기술원) ;
  • 남경탁 (성균관대학교 기계공학부) ;
  • 강윤호 (삼성종합기술원) ;
  • 김태성 (성균관대학교 성균나노과학기술원, 성균관대학교 기계공학부)
  • Published : 2007.08.15
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