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Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2007.08a
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Pages.385-385
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2007
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
상압과 저압에서 열분해법으로 제조된 실리콘 입자 비교
Kim, Gwang-Su
;
U, Dae-Gwang
;
Nam, Gyeong-Tak
;
Gang, Yun-Ho
;
Kim, Tae-Seong
김광수
(성균관대학교 성균나노과학기술원) ;
우대광
(성균관대학교 성균나노과학기술원) ;
남경탁
(성균관대학교 기계공학부) ;
강윤호
(삼성종합기술원) ;
김태성
(성균관대학교 성균나노과학기술원, 성균관대학교 기계공학부)
Published : 2007.08.15
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