Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Mechanical Characteristics of the hard-polydimethylsiloxane for Smart Lithography

  • 김기환 (경희대학교 정보디스플레이학과) ;
  • 송나영 (경희대학교 정보디스플레이학과) ;
  • 추병권 (경희대학교 정보디스플레이학과) ;
  • 박규창 (경희대학교 정보디스플레이학과) ;
  • 장진 (경희대학교 정보디스플레이학과)
  • Published : 2007.08.15
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Keywords